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の開発である。 405nmレーザーダイオード は、III-V族半導体工学における最も重要な成果のひとつである。可視紫と近紫外スペクトルの境界で動作するこのデバイスは、窒化ガリウム(GaN)と窒化インジウムガリウム(InGaN)のヘテロ構造に依存している。従来の赤外線エミッターとは異なり 405 nm 光子エネルギー(約3.06eV)は、格子整合とキャリア閉じ込めに対して根本的に異なるアプローチを必要とする。.
高性能の 405nmレーザー, 活性領域は多重量子井戸(MQW)で構成されている。これらの井戸は、電子と正孔を局在化させ、放射再結合の確率を最大化するように原子レベルで設計されている。しかし、GaN材料は強い内部ピエゾ電界を特徴とする。これらの場は、ウルツ鉱型格子の非中心対称結晶構造に起因するもので、電子と正孔の波動関数を分離する傾向がある-量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)として知られる現象である。プロ仕様の シングルモードレーザーダイオード, このようなフィールドを最小限に抑え、内部の量子効率を向上させるためには、有機金属化学気相成長法(MOCVD)などの高度なエピタキシャル成長技術を採用する必要がある。.
の技術的な課題である。 405nmレーザー は、単に誘導放出を達成するだけでなく、高電流密度下でそれを維持することである。高い順方向電圧(典型的には4.0Vから5.0V)と、GaN-on-サファイアまたはGaN-on-SiC基板の比較的高い熱抵抗は、激しい局所的な加熱を引き起こす。エンジニアリングの観点から、ダイオードの寿命は、「p-クラッディング」層と「n-クラッディング」層が、熱を銅サブマウントに逃がしながら、いかに効果的に光を導くかによって決まります。.
A シングルモードレーザーダイオード は、単一の横モード、典型的には$TEM_{00}$基本モードで発光する能力によって定義される。これはリッジ導波路の製造によって達成されます。リッジは上部クラッド層にエッチングされた細い帯で、有効屈折率に「段差」を作ります。.
このリッジの幅が重要である。もしリッジの幅が 405nmレーザー, 空胴が複数の横モードをサポートすると、$M^2$ファクターが低下し、ビーム形状が不安定になります。精密な 405nmレーザーダイオード, リッジ形状は100nm以下の精度で制御されなければならない。この空間コヒーレンスにより、ビームを回折限界スポットまで集光することが可能となり、高解像度イメージングやデータ保存アプリケーションの主な要件となる。.
空間プロファイルはファーフィールドパターン(FFP)によって特徴付けられる。高品質の シングルモードレーザーダイオード は、高速軸(接合部に垂直な軸)と低速軸(接合部に平行な軸)の両方において、滑らかなガウス分布を示します。サイドローブ “や ”ビームステアリング “のような、これからの逸脱は、導波路のエッチングプロセスの失敗、または結晶内部の欠陥を示します。.
多くのダイオードは空間的にはシングルモードだが、真の精度を得るためには 単一周波数レーザーダイオード (単一縦モードまたはSLMレーザーとも呼ばれる)。標準的なファブリーペロ 405nmレーザー, 利得帯域幅は、複数の縦モードをサポートするのに十分広い。これらのモードは利得を競い合い、温度や電流の変動に伴って「モード・ホッピング」を引き起こす。.
モードホッピングをなくすには、周波数選択素子を組み込む必要がある。これには2つの方法がある:
その 単一周波数レーザーダイオード コヒーレンス長は線幅に反比例する。標準的な 405 nm ダイオードのコヒーレンス長が数ミリメートルであるのに対し、単一周波数バージョンではこれを数十メートルまで伸ばすことができるため、複雑な3Dホログラフィック測定が可能になる。.
OEMメーカーにとっては 405nmレーザー はしばしば “氷山の一角 ”である。総所有コスト」(TCO)は、ダイオードの安定性と光学トレインの他の部分への影響によって左右されます。.
もし シングルモードレーザーダイオード が著しい波長ドリフト(GaN では通常 0.05nm/℃)を示すと、狭帯域フィルターや回折格子などの下流の光学部品は効率を失います。蛍光ベースの診断ツールでは、たとえ1nmのドリフトでも、励起光源が蛍光体の吸収ピークから遠ざかり、20-50%の信号損失が生じます。それを補うために、エンジニアはしばしば検出器の感度をオーバースペックにしなければならず、システムコストに数百ドル上乗せすることになります。安定した高品質の 405nmレーザーダイオード はこの必要性を排除する。.
低品質 405nmレーザー 光源はしばしば高い相対強度ノイズ(RIN)に悩まされる。このノイズは電力の高周波変動として現れ、高速通信やイメージングではデータ信号と間違われることがある。マスクレス・リソグラフィーでは、高いRINは「ラインエッジラフネス」につながり、製造される半導体ウェハーの歩留まりを低下させる。マスクレス・リソグラフィーでは、RINが高いほど「ラインエッジラフネス」が大きくなり、生産される半導体ウェハーの歩留まりが低下します。 単一周波数レーザーダイオード 低ノイズ・ドライバの統合により、メーカーはより高いプロセス歩留まりと、より少ないフィールド故障を達成することができます。.
次の表は、一般的なバイオレット・ダイオードと精密設計された工業用ユニットとの性能の違いをまとめたものです。.
| 技術パラメーター | 標準405nmダイオード | 産業用シングルモード (laserdiode-ld.com) | 高度な単一周波数 |
| 波長の安定性 | ±5nm | ±1nm | ±0.01 nm(ロック状態) |
| 線幅(FWHM) | ~2 nm | < 0.5 nm | < 0.00001 nm(MHzレンジ) |
| ビーム円形度 | 1:3の比率 | 1:1.2(マイクロオプティクス使用時) | > 95% |
| 出力安定性(RMS) | < 3% | < 0.5% | < 0.1% |
| $M^2$因子 | 1.5 – 2.0 | 1.1 – 1.2 | 1.05 – 1.1 |
| MTTF(時間) | 3,000 | 10,000 – 20,000 | 20,000+ |
| しきい電流 | > 50 mA | 30 - 40 mA | 25 - 35 mA |
を完全に評価する。 405nmレーザーダイオード, エンジニアは、これら3つの重要なパラメーターも考慮しなければならない:
航空宇宙産業向けのフレキシブル回路を専門とする高精度PCBメーカーは、歩留まりの低さに悩んでいた。同社の “ダイレクト・イメージング”(DI)システムでは 405nmレーザー でフォトレジストを露光する。.
われわれは “Near-Field Intensity ”マッピングプロトコルを実施した。高分解能ビームプロファイラを用いて、エネルギー分布が焦点面で完全にガウス分布していることを確認した。また、ビームの重心を追跡する100時間の “ポインティングスタビリティ ”テストを実施し、5$Tradのドリフトを超えるダイオードは不合格とした。.
一般的なエミッターを安定化されたものに置き換えることで 単一周波数レーザーダイオード このソリューションにより、顧客は40%のスループット向上を達成した。ラインエッジ粗さ」(LER)は60%減少し、システムのメンテナンス間隔は200時間から4,000時間に延長された。初期コストが高い 405nmレーザーダイオード は、スクラップの削減と機械の稼働時間の増加により、稼動開始後1ヵ月で回収された。.
企業が 405nm レーザー販売, 購入者は「P-I-V」データと「ファーフィールドプロファイル」を要求しなければならない。GaN物理学のニュアンスを理解しているメーカーであれば、提供してくれるでしょう:
で レーザーダイオード-LD.com, その焦点は、これらの厳格な技術基準にあります。標準的な 405 nm エミッターまたはハイエンド 単一周波数レーザーダイオード, その目標は、最も要求の厳しいOEMアプリケーションに対して、信頼性の高い「セット・アンド・フォーゲット」フォトンエンジンとして機能するコンポーネントを提供することです。.
Q1: 405nmレーザーダイオードの動作電圧が赤色レーザーより高いのはなぜですか?
A: これはGaN材料の広いバンドギャップによるものです。405 nmで紫色の光子を放出するためには、電子は~3.06 eVの「ギャップ」を越えなければなりません。順方向電圧は、このエネルギー障壁と内部抵抗損失を超えなければならず、その結果、これらのダイオードで見られる4.0V~5.0Vの範囲になります。.
Q2: 標準的な405nmのレーザーダイオードを干渉計に使用できますか?
A: 標準的なシングルモードレーザーダイオードは、短距離(数センチ)の基本的な干渉計には使用できます。しかし、高精度または長距離の作業には、位相が時間と共に安定するように単一周波数のレーザーダイオードが必要です。.
Q3: 「フィードバック・ノイズ」は405nmレーザーにどのような影響を与えますか?
A: 405nmダイオードは、キャビティに反射して戻ってくる光に対して非常に敏感です。このフィードバックは “強度ノイズ ”と周波数不安定性の原因となります。ハイエンドのシステムでは、光アイソレーターがキャビティに組み込まれています。 レーザーモジュール これらの反射をブロックする。.
Q4: 「シングルモード」と「回折限界」の違いは何ですか?
A: 「シングルモード」とは、ダイオードの内部導波路が1つの横モードのみをサポートすることを指します。「回折限界」とは、レンズでコリメートされた後のビームの品質を指します。高品質のシングルモードレーザーダイオードは、回折限界スポット、つまりスポットサイズが物理法則(回折)が許す限り小さいスポットを実現します。.
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詳細を見る低出力レーザーダイオードから高出力シングルモードレーザーダイオードへの移行は、半導体物理学における最も複雑なスケーリングの課題の1つである。マルチモードダイオードの出力パワーを上げるには、単純に発光幅を広げるだけでよいのに対して、シングルモードレーザーダイオードの出力パワーを上げるには、発光幅を広げるだけでよい。.
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