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Fabrico de laser de largura de linha estreita de 638nm/785nm de elevada especificação

A Termodinâmica Quântica da Largura de Linha Espectral

Na procura de uma coerência extrema, o desempenho de um díodo laser de largura de linha estreita é ditada pelo teorema de Schawlow-Townes, que relaciona a largura espetral com a densidade de fotões no interior da cavidade ótica e a Taxa de emissão espontânea. Para um laser Fabry-Pérot (FP) normal, a largura de linha é tipicamente da ordem de várias centenas de gigahertz. No entanto, para aplicações como a interferometria ou a espetroscopia de alta resolução, esta largura deve ser suprimida em várias ordens de grandeza.

A obtenção de uma largura de linha inferior a megahertz exige uma arquitetura diferente das simples junções de semicondutores. A física gira em torno do aumento do tempo de vida do fotão ($\tau_p$) dentro do ressoador. Isto é conseguido através da extensão da cavidade para além do próprio chip semicondutor, criando um Cavidade externa Laser de díodo (ECDL) configuração. Ao introduzir um elemento seletivo de frequência - como uma grelha de Bragg em volume (VBG) ou uma grelha de difração - os fabricantes podem forçar o laser a oscilar num único modo longitudinal. A precisão desta seleção de frequência é o que define a transição de uma fonte de luz genérica para um instrumento de nível científico.

Dinâmica dos materiais: 638nm AlGaInP vs. 785nm AlGaAs

A engenharia de um Díodo laser de 638nm e um Díodo laser de 785nm representa duas batalhas distintas contra a degradação do material e a instabilidade térmica. A 638 nm, o sistema de material AlGaInP é afetado por um baixo confinamento de portadores. Uma vez que o desvio de banda entre o poço quântico e o revestimento p é relativamente pequeno, os electrões escapam facilmente da região ativa à medida que a temperatura aumenta. Este “transbordamento de portadores” leva a um aumento maciço da Taxa de emissão espontânea fora do modo desejado, o que se manifesta como um aumento do ruído espetral.

Em contrapartida, o Díodo laser de 785nm, O sistema de deteção de radiação, baseado em AlGaAs, é um dispositivo de elevado ganho, mas sofre de elevadas velocidades de recombinação superficial nas facetas. Este facto torna-o particularmente suscetível a danos ópticos catastróficos (COD) quando submetido a níveis de potência elevados. Para obter um laser limitado por difração para obter uma saída a 785 nm, a estrutura epitaxial deve incluir “Graded-Index Separate Confinement Heterostructures” (GRINSCH). Esta conceção assegura que o campo ótico é distribuído verticalmente, reduzindo a intensidade na faceta e mantendo uma elevada sobreposição com o meio de ganho. A estabilidade desta interface é o principal fator de fiabilidade a longo prazo nos sistemas de espetroscopia Raman.

Atingir o limite de difração: o papel da geometria do guia de ondas

A laser limitado por difração é caracterizado por um fator $M^2$ próximo de 1,0, o que significa que o feixe segue as leis de propagação gaussianas ideais. Em um laser semicondutor, A qualidade do feixe é determinada pela geometria do “Ridge Waveguide” (RWG). A crista deve ser suficientemente estreita - normalmente entre 2,0 $\mu m$ e 3,5 $\mu m$ - para garantir que apenas o modo transversal fundamental possa oscilar.

No entanto, à medida que a largura da crista é reduzida para obter uma laser limitado por difração perfil, o Resistência térmica ($R_{th}$) do dispositivo aumenta. Isto cria uma “ilha de calor” localizada na junção. Este calor induz um gradiente de índice de refração, conhecido como lente térmica, que pode distorcer a frente de onda e fazer com que o feixe se desvie do limite de difração. Por conseguinte, o processo de fabrico tem de utilizar “Litografia submicrónica” para garantir que as paredes das cristas são perfeitamente verticais e lisas. Qualquer rugosidade nas paredes laterais da crista actua como um centro de dispersão, aumentando a perda interna e alargando a largura de linha.

A embalagem borboleta: Um santuário de estabilidade térmica e mecânica

Para qualquer aplicação OEM de alta precisão, o Díodo laser de embalagem borboleta é o padrão da indústria por uma razão. Ao contrário das embalagens TO-can, o módulo borboleta de 14 pinos foi concebido para isolar o chip laser do ambiente externo caótico. O núcleo deste isolamento é a integração de um arrefecedor termoelétrico (TEC) interno e de um termistor NTC de alta sensibilidade.

O Resistência térmica ($R_{th}$) da junção para a caixa é o parâmetro mais crítico numa Díodo laser de embalagem borboleta. Ao montar a matriz do laser numa submontagem de nitreto de alumínio (AlN) - que possui uma elevada condutividade térmica e um coeficiente de expansão térmica (CTE) compatível com o chip do laser - o fabricante pode efetivamente “drenar” o calor da região ativa.

Além disso, o pacote borboleta permite a integração de um Laser de Díodo de Cavidade Externa (ECDL) utilizando uma VBG. Esta grelha está posicionada dentro do selo hermético, a meros micrómetros da faceta do laser. Uma vez que a VBG está termicamente ligada ao mesmo TEC que o chip laser, toda a saída espetral se torna imune às flutuações da temperatura ambiente. Este nível de integração é o que permite um Díodo laser de 785nm para manter a sua frequência com uma precisão de 0,005nm ao longo de milhares de horas de funcionamento.

Análise de dados: Arquitetura do pacote e desempenho espetral

A tabela seguinte resume as diferenças de desempenho entre várias estratégias de embalagem e estabilização para díodos vermelhos e NIR. Estes dados destacam as métricas de “Qualidade do Componente” que influenciam o “Custo Total do Sistema”.”

Parâmetro638nm FP (TO-Can)638nm VBG (Borboleta)785nm FP (TO-Can)785nm VBG (Borboleta)
Largura de linha (FWHM)~2,0 nm< 0,1 nm~1,5 nm< 0,05 nm
SMSR (dB)N/A> 40N/A> 45
Qualidade do feixe ($M^2$)1.3 – 1.5< 1.11.2 – 1.4< 1.1
$R_{th}$ (K/W)25 – 402 – 515 – 301 – 3
Desvio de comprimento de onda0,2 nm/K< 0,01 nm/K0,3 nm/K< 0,007 nm/K
Estabilidade de apontamentoPobres< 5 $\mu rad/K$Moderado< 5 $\mu rad/K$

Estudo de caso: Interferometria Sub-Nanométrica para Metrologia de Semicondutores

Antecedentes do cliente:

Um fabricante líder de ferramentas de inspeção litográfica necessitava de um díodo laser de 638 nm altamente estável para um interferómetro de medição de deslocações. O sistema precisava de medir a posição de uma plataforma de bolacha com uma resolução de 0,5 nanómetros.

Desafios técnicos:

A anterior fonte de 638 nm do cliente apresentava um elevado “ruído de fase”, o que se traduzia em instabilidade na medição da distância. Além disso, o feixe não estava perfeitamente limitado pela difração, o que conduzia a distorções da frente de onda quando o feixe percorria os braços do interferómetro de longo percurso. Isto exigia a recalibração frequente de toda a ferramenta de metrologia, custando ao utilizador final milhares de dólares em tempo de inatividade.

Parâmetros técnicos e definições:

  • Comprimento de onda central: 638nm ± 0,5nm.
  • Largura de linha: < 10 MHz (ultra-estreito para um comprimento de coerência elevado).
  • Embalagem: 14 pinos Díodo laser de embalagem borboleta.
  • Saída de fibra: Fibra com manutenção da polarização (PM) com rácio de extinção > 20dB.
  • Temperatura de funcionamento: Bloqueado a 25°C ± 0,01°C.

Solução de controlo de qualidade e engenharia:

A solução era uma díodo laser de largura de linha estreita configurado como um laser de díodo de cavidade externa (ECDL) com um VBG bloqueado para 638nm. Para atingir o requisito de laser limitado por difração, utilizámos uma bancada de alinhamento ótico automatizado para acoplar a luz a uma fibra PM com eficiência de 75%.

O protocolo de CQ envolveu a “Caracterização do Ruído de Fase” utilizando um interferómetro auto-heteródino retardado. Também realizámos um “teste de bloqueio do comprimento de onda” de 48 horas, em que o díodo foi sujeito a variações de temperatura ambiente de 15°C a 45°C. O TEC integrado no interior da embalagem borboleta manteve a temperatura da junção interna de forma tão precisa que a alteração do comprimento de onda não foi detetável pelo medidor de ondas de alta resolução do cliente.

Conclusão:

Ao atualizar para a fonte de largura de linha estreita, embalada em borboleta, a empresa de metrologia conseguiu uma melhoria de 4x na estabilidade da medição. O “Phase Jitter” foi reduzido em 85%, permitindo uma resolução de medição de 0,2nm. Enquanto o preço do díodo laser era significativamente mais elevado do que a anterior solução TO-can, o cliente eliminou a necessidade de chamadas de serviço mensais, o que resultou num ROI de 200% no primeiro ano.

O custo oculto dos díodos “económicos” nos sistemas OEM

Do ponto de vista de um fabricante, o “preço” de um díodo é frequentemente um indicador da “profundidade de teste”. A Díodo laser de 785nm que é vendido sem um pacote de borboleta ou estabilização VBG é essencialmente um componente inacabado. Para o OEM, o “Custo Iceberg” de um díodo barato inclui:

  1. Desvio térmico: Requerem algoritmos de software complexos para compensar as deslocações de comprimento de onda.
  2. Saltos de modo: Causando súbitas falhas de dados em aplicações Raman ou de deteção.
  3. Astigmatismo do feixe: Necessitando de micro-ópticas externas dispendiosas para corrigir a forma do feixe.

Ao investir num Díodo laser de embalagem borboleta com um laser limitado por difração o OEM transfere a complexa engenharia ótica e térmica para o fabricante. Isto permite que o integrador de sistemas se concentre no seu software principal e na lógica da aplicação, reduzindo significativamente o “Time-to-Market”.”

FAQ profissional

P: Como é que o “Comprimento de Coerência” se relaciona com a largura de linha de um laser de 785 nm?

A: O comprimento de coerência ($L_c$) é inversamente proporcional à largura de linha ($\Delta \nu$). Para um díodo laser de largura de linha estreita com uma largura de linha de 1 MHz, o comprimento de coerência pode exceder 100 metros. Este facto é crítico para a interferometria de longo alcance ou a deteção 3D. Um díodo FP normal de 785 nm tem um comprimento de coerência de apenas alguns milímetros.

P: Porque é que a “solda dura” (AuSn) é obrigatória para as embalagens borboleta?

R: A solda dura evita a “fluência da solda”. Num díodo laser de embalagem borboleta, a micro-ótica e a matriz do laser estão alinhadas com uma precisão submicrónica. Se fosse utilizada uma solda macia, como a de índio, os componentes iriam lentamente “deslocar-se” ao longo do tempo devido ao ciclo térmico, destruindo o perfil do feixe laser limitado por difração e a eficiência do acoplamento da fibra.

P: Posso modular um díodo laser de largura de linha estreita a altas velocidades?

R: Os lasers de cavidade externa (bloqueados por VBG) podem ser modulados, mas a velocidade de modulação é limitada em comparação com um laser DFB. Para velocidades de gigahertz, recomenda-se a utilização de um modulador acústico-ótico (AOM) externo para evitar “Frequency Chirp” durante o ciclo de modulação, o que alargaria a largura de linha.

P: O que é o rácio de supressão de modo lateral (SMSR) e qual a sua importância?

R: A SMSR é o rácio entre a potência do modo longitudinal principal e o modo lateral mais forte. Num díodo laser de 785 nm para espetroscopia Raman, uma SMSR elevada (>40dB) é vital para garantir que o sinal Raman não é contaminado por “picos fantasma” de modos laser secundários.

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