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Diodos láser monomodo de alta potencia: Física de 405nm a 505nm

Dinámica cuántica del control de modos espaciales

La transición de un diodo láser de baja potencia a un diodo láser monomodo de alta potencia es uno de los retos de escalado más complejos de la física de semiconductores. Mientras que para aumentar la potencia de salida de un diodo multimodo basta con ampliar la abertura emisora, para mantener un único modo transversal ($TEM_{00}$) es necesario revisar la arquitectura de la guía de ondas. En el régimen de 405 nm a 505 nm, donde las energías de los fotones son elevadas y las tensiones del material son significativas, la estabilidad del modo óptico viene dictada por el delicado equilibrio entre el guiado por índice y el guiado por ganancia.

Para lograr un diodo láser monomodo de alta potencia, el fabricante debe implementar una estructura de guía de ondas de cresta (RWG) con precisión litográfica. El “paso de índice efectivo” ($\Delta n_{eff}$) entre la cresta y las regiones circundantes debe calcularse para que sólo admita el modo fundamental. Si la cresta es demasiado ancha, los modos transversales de orden superior empiezan a competir por la ganancia; si es demasiado estrecha, el campo óptico se derrama en las capas de revestimiento con pérdidas, aumentando la corriente umbral. Además, a altos niveles de inyección, el “factor de mejora del ancho de línea” (factor $alpha$) hace que el índice de refracción fluctúe con la densidad de portadores, lo que puede provocar un “retorcimiento de modo”, es decir, un cambio repentino y no lineal en el perfil espacial y espectral del haz que hace que un Láser de 505 nm o láser de diodo 405 nm inútil para la óptica de precisión.

Ingeniería de materiales en el régimen de nitruros: 405nm y 505nm

El láser de diodo 405 nm es la piedra angular de la fotónica azul-violeta y funciona en el sistema de materiales de nitruro de indio-galio (InGaN). A 405 nm, el contenido de indio es relativamente bajo, lo que permite un crecimiento cristalino de alta calidad con menos dislocaciones. Esto permite una alta Eficiencia cuántica diferencial ($\eta_d$). Sin embargo, a medida que nos acercamos al Láser de 505 nm, la fracción molar de indio debe aumentarse hasta casi 20%. Esto introduce un desajuste de red significativo con el sustrato de GaN, creando campos piezoeléctricos internos. Estos campos provocan el “efecto Stark de confinamiento cuántico” (QCSE), que separa espacialmente electrones y huecos en los pozos cuánticos, ralentizando la recombinación radiativa y dificultando la consecución de un láser 100mw verde salida en un solo modo.

Para un profesional Fábrica china de diodos láser, La solución reside en la “ingeniería de banda prohibida” del revestimiento de AlInGaN. Graduando la composición de las capas, los ingenieros pueden crear una “capa de bloqueo de electrones” (EBL) que impide el desbordamiento de portadores a altas temperaturas. Esto es especialmente importante para Láser de 505 nm, donde los desplazamientos de banda son menos profundos que a 405 nm. Sin un EBL eficaz, los electrones inyectados eludirían los pozos cuánticos y se recombinarían de forma no radiativa en la región de tipo p, generando calor residual que desestabilizaría la cresta monomodo.

La lente térmica y la estabilidad de los diodos verdes de 100 mW

Un obstáculo importante para producir un láser 100mw verde dispositivo monomodo es el fenómeno de lente térmica. Cuando el diodo funciona a alta potencia, el calentamiento localizado en la región activa crea un gradiente en el índice de refracción. Esta “lente térmica” actúa como una guía de ondas adicional, enfocando a menudo la luz con tanta fuerza que desestabiliza el modo fundamental.

Para conseguirlo, los fabricantes de gama alta utilizan soportes con una conductividad térmica extrema, como el nitruro de aluminio (AlN) o el carburo de silicio (SiC). El objetivo es minimizar la “impedancia térmica” ($R_{th}$) entre la unión del semiconductor y el disipador de calor externo. Para un diodo láser de baja potencia, un marco estándar de cobre podría ser suficiente, pero para una diodo láser monomodo de alta potencia, la elección del submontaje influye directamente en la “potencia de torsión”, es decir, la potencia máxima que puede alcanzar el diodo antes de que se rompa el modo espacial. En los sectores médico e industrial, la compra de un diodo con un elevado margen de "kink-power" es la forma más eficaz de garantizar la fiabilidad del sistema a largo plazo, incluso si la potencia inicial del diodo es muy baja. precio del diodo láser es mayor.

Densidad de potencia óptica e integridad de las facetas

En un dispositivo monomodo, toda la salida óptica se concentra en un área de aproximadamente 1 $\mu m$ por 3 $\mu m$. Para un láser 100mw verde, la densidad de potencia en la faceta de salida es asombrosa. Esto crea un alto riesgo de Daño Óptico Catastrófico (COD). El umbral COD es el punto en el que la luz intensa hace que la faceta semiconductora absorba suficiente energía para fundirse.

Las fábricas líderes abordan este problema mediante el “Vacuum Cleaving” y el “In-situ Passivation”. Al escindir las barras láser en un vacío ultraalto y aplicar inmediatamente un recubrimiento dieléctrico protector, el fabricante evita la formación de “Dangling Bonds” y óxidos superficiales que actúan como centros de absorción generadores de calor. Este proceso es obligatorio para láser de diodo 405 nm utilizado en litografía o a Láser de 505 nm utilizado en oftalmología, donde un fallo repentino durante una operación es inaceptable.

Datos técnicos: Análisis comparativo de diodos monomodo

La tabla siguiente ofrece una comparación técnica de los parámetros críticos de los diodos monomodo en el espectro de longitud de onda corta. Estos valores reflejan los compromisos técnicos entre longitud de onda, potencia y eficiencia.

Parámetro405 nm monomodo488 nm monomodo505 nm monomodoUnidad
Potencia CW máxima500150120mW
Calidad del haz ($M^2$)< 1.1< 1.1< 1.2
Corriente de umbral ($I_{th}$)354555mA
Eficacia de la pendiente ($\eta$)1.41.10.8W/A
Tensión directa ($V_f$)4.85.26.2V
Relación de polarización> 100:1> 100:1> 80:1TE/TM
Desplazamiento térmico0.050.040.03nm/K

Estudio de caso: Litografía láser submicrónica para la creación de prototipos de semiconductores

Antecedentes del cliente:

Un laboratorio de investigación de los Países Bajos se especializó en “litografía sin máscara”. Su sistema utilizaba un espejo de barrido de alta velocidad para dirigir un rayo láser sobre una oblea recubierta de fotorresistencia para crear patrones de circuitos submicrónicos.

Retos técnicos:

El cliente utilizaba un diodo láser estándar de baja potencia (405 nm, 20 mW). Sin embargo, para aumentar el rendimiento de su sistema, necesitaban cambiar a un diodo láser monomodo de alta potencia (405 nm, 200 mW). El problema era que a 200 mW, la “estabilidad de puntería” y el “ancho de línea espectral” del haz se volvían inestables debido a las fluctuaciones térmicas. Cualquier pequeño cambio en la posición del haz o un salto de modo provocaba un patrón borroso que arruinaba la oblea de silicio.

Parámetros técnicos y ajustes:

  • Longitud de onda: 405 nm ± 2 nm.
  • Potencia objetivo: 200mW CW.
  • Diámetro del haz: 1,2 mm (colimado).
  • Estabilidad de potencia: < 0,5% en 12 horas.
  • Estabilidad de puntería: < 5 $\mu rad/°C$.

Control de calidad y solución:

La solución consistió en un proceso de estabilización en dos fases. En primer lugar, proporcionamos un láser de diodo de 405 nm con una unión “Hard-Solder” (AuSn) a una submontura de AlN para maximizar la disipación del calor. En segundo lugar, implementamos externamente una “rejilla de Bragg de volumen” (VBG) para bloquear la longitud de onda. Este VBG proporciona retroalimentación óptica que obliga al diodo a permanecer en un único modo longitudinal, eliminando los saltos de modo incluso a altas corrientes de accionamiento.

Para el control de calidad, utilizamos un “Beam Profiler” para medir el $M^2$ en toda la gama de potencias de 0 a 200mW. Nos aseguramos de que el “Kink-Point” fuera de al menos 250 mW, lo que proporcionaba un margen de seguridad de 25% para el punto de funcionamiento de 200 mW del cliente.

Conclusión:

Al cambiar al diodo láser monomodo estabilizado de alta potencia, el laboratorio aumentó su velocidad de litografía en 800% sin sacrificar la resolución. La estabilidad del apunte se mantuvo dentro de la tolerancia submicrónica y la fiabilidad a largo plazo les permitió utilizar la máquina las 24 horas del día, los 7 días de la semana. Este caso pone de manifiesto que, para los fabricantes de equipos originales de gama alta, la “Calidad de los componentes” es el principal impulsor de la “Rentabilidad operativa”.”

La realidad económica: Calidad de los componentes frente a costes de mantenimiento

Cuando un responsable de compras busca un láser de diodo 405 nm o un láser 100mw verde, A menudo se ven tentados por el precio unitario más bajo. Sin embargo, en los sectores industrial y médico, el precio del diodo suele ser inferior al 1% del coste total del sistema. Un “barato” diodo láser de baja potencia que falla prematuramente puede conducir a:

  1. Logística de servicios de campo: El coste de enviar un técnico a un lugar remoto.
  2. Daños a la reputación: Especialmente en el ámbito médico, donde el tiempo de inactividad de los equipos puede retrasar las intervenciones quirúrgicas.
  3. Desguace de la producción: En la fabricación, un fallo del láser a mitad de ciclo suele arruinar la pieza.

Al asociarse con un Fábrica china de diodos láser que se centra en “Screening and Burn-in”, los compradores pueden cambiar su enfoque del “Precio de compra inicial” al “Coste total de propiedad”. Un diodo que se ha sometido a una prueba de alta tensión de 168 horas tiene estadísticamente 10 veces menos probabilidades de fallar en el primer año de funcionamiento. Este control de calidad proactivo es la base de la confianza entre un proveedor y un OEM.

Preguntas frecuentes profesionales

P: ¿Cuál es la diferencia entre “modo transversal único” y “modo longitudinal único”?

R: El Modo Transversal Único ($TEM_{00}$) se refiere a la forma espacial del haz, que permite un enfoque apretado y circular. El modo longitudinal único se refiere a la pureza espectral (una sola frecuencia). La mayoría de los diodos láser monomodo de alta potencia son monomodo espacialmente, pero pueden tener múltiples modos espectrales a menos que estén estabilizados por una estructura DFB o un VBG externo.

P: ¿Por qué la tensión de funcionamiento ($V_f$) es mayor para un láser de 505 nm que para un láser de Láser de 405 nm?

R: Esto se debe al “Bandgap” y a la “Resistencia en serie”. Aunque 505 nm tiene una energía de fotones menor (menor bandgap) que 405 nm, el mayor contenido de indio en el láser de 505 nm aumenta la dispersión de portadores y dificulta el dopaje de tipo p, lo que provoca una mayor caída de tensión general a través del dispositivo.

P: ¿Puedo utilizar un diodo láser monomodo de alta potencia para la impresión 3D?

R: Sí. De hecho, para SLA (estereolitografía) o SLS (sinterizado selectivo por láser) de microestructuras, un diodo monomodo de 405 nm o 450 nm es la fuente de luz preferida debido a su capacidad para enfocarse en un punto de menos de 10 micras.

P: ¿Qué ocurre si conduzco un Láser verde de 100 mW ¿sin un TEC?

R: Sin un refrigerador termoeléctrico (TEC), la temperatura de la unión aumentará rápidamente. Esto provocará que la longitud de onda se vuelva roja (más larga), que la corriente umbral aumente y, finalmente, la expansión térmica provocará un “Mode Kink”, en el que el perfil del haz se distorsiona. La degradación permanente de la faceta puede producirse en cuestión de minutos.

El anterior: El siguiente:

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